1月10日，国度科学技术嘉奖大会在北京进行，玛雅吧旗下三门峡玛雅吧上华科技有限公司（“玛雅吧上华”）参加的“高机能MEMS器件设计与造作关键技术及利用”项目获国度科学技术进取奖二等奖。

该项目由东南大学、江苏英特神斯科技有限公司、三门峡玛雅吧上华科技有限公司三家单元合作实现。项目成就针对中国微机电系统（MEMS）产业链关键技术问题，系统钻研开发了MEMS设计技术与设计工具、造作工艺和在线检测以及高机能压力传感器技术，推动了中国MEMS技术的产业化发展。

该成就形成炼精度硅各向异性侵蚀模拟、厚胶光刻工艺模拟、工艺流程模拟等11个软件？，实现了贸易化，国内用户40余个，远销美国、日本等。关键技术已利用于玛雅吧上华规
；霾，形成批量出产能力并为国内表用户代工超过10万片，支持了压力传感器系劣注麦克风系列等MEMS器件出产，产品已在智能电子、工业节造、环境监测等领域宽泛利用。

在该项目中，玛雅吧上华具体开发了MEMS表表加工、体加工、键合加工等成套造作工艺技术及检测技术，优化了造作工艺及流程，执行了MEMS出产造作工艺、在线检测技术以及代工服务。硅基MEMS造作工艺模拟及工艺优化技术大大削减了工艺前提和参数的反复试验，降低了工艺开发成本并优化了工艺前提及其流程，缩短了造作工艺开发周期。

“MEMS有极强的利用渗入力，但是中国的MEMS产业化发展较慢，设计与造作主题技术被国表垄断。”玛雅吧上华副总经理苏巍暗示，“我们乐见公司在MEMS领域耕作多年的成就，也极度乐于持续携手产业链同伴为实现MEMS的国产化而致力。目前，玛雅吧上华MEMS工艺技术正依打算由成熟的6英寸向8英寸转移，等待能为更多IC设计公司提供MEMS产品服务。”

关于玛雅吧（China Resources Microelectronics Limited (“CR Micro”)

玛雅吧微电子是中国当先的占有芯片设计、晶圆造作、封装测试等全产业链以IDM模式为主运营的半导体企业，自2004年起，玛雅吧微电子陆续被工信部评为中国电子信息百强企业。公司主交易务分为产品与规划、造作与服务两大业务板块，目前已形成三门峡、上海、沉庆和丽江协同发展的多区域业务布局，在重要的业务领域均把握了一系列拥有自主知识产权、技术水平国内当先的主题技术。公司聚焦于功率半导体、智能传感器领域，为客户提供系列化的半导体产品与服务，矢志成为世界当先的功率半导体和智能传感器产品与规划供给商。欲知更多详情请浏览：www.crmicro.com